第31章 学霸和学霸亦有差距 (6 / 10)
        【某实验小组为探究投影光刻系统的分辨能力，搭建了简化光刻实验装置：采用波长为λ的单色平行光作为曝光光源，通过数值孔径为NA的投影物镜，将掩模上的精细图案投影到涂有光刻胶的晶圆表面，实现芯片图案的转移。

        光刻系统的最小分辨线宽（可清晰区分的两条相邻线条的最小间距）遵循瑞利判据：

        第31章学霸和学霸亦有差距

        δ=0.61λ/NA

        其中数值孔径NA=n?sinθ，n为物镜与晶圆之间介质的折射率，θ为物镜能接收的最大光线的半孔径角。

        完成下列问题：】

        这题一共三个问题，前两问可能成绩稍微好点的学生就能做出来，甚至都不用学霸。

        但是第三题，你说他难吧，确实有奥赛难度，但不是顶尖的那种。

        可是他的重点不是解出来，而是怎么解出来才最好。

        李东下意识的抬头看了看四周。

        此时距离考试结束还有四十分钟，大部分考生都还在抓耳挠腮地对付前面的计算题。

        他旁边的那个考生，看着年纪特别小，顶多也就是高一的样子，此刻正咬着笔杆，对着这最后一道题发呆，卷子上大片空白。

        “现在的小孩都这么卷了吗？高一就来参加这种比赛？”

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