第57章 从零到一 (1 / 7)
        复大物理楼考场内。

        李东皱着眉头审题

        “系统匀速扫描……浸没液瞬态温升……”

        他在草稿纸上写下了几个流体力学和热传导的核心参量。

        “要去解决水的问题呀！”

        “用微流控主动散热系统怎么说？”

        “可以在晶圆台上方建个高频的循环流道，把热量瞬间带走。”

        李东刚想到就立刻否决了。

        “不行，不行。”

        “晶圆台的扫描速度至少1200mm/s，单脉冲激光带来的浸没液瞬态温升时间都是微秒级的，循环流控的热响应速度根本追不上。”

        “而且还要把局部温升控制到 0.001℃以内，才能满足线宽要求。”

        “100万可能搞不定吧。”

        李东真·挠了挠头，尝试用第二个角度切入。

        “那自适应光学补偿呢？在光路中加入可变形反射镜，实时测温然后抵消光程差？”

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