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第33章 江城七中,李东 (3 / 10)
就在他打个哈欠,想着晚上吃火锅是点微辣还是中辣的时候,一张试卷让他微微一愣。
【方案名称:双光束激光干涉无掩模光刻】
他揉了揉眼睛,再确认了一次,确实没有眼花。
就是双光束激光干涉无掩模光刻。
刚才还昏昏沉沉的脑子,现在一下子就清醒了。
这个思路就是他们组半年前用来解决那个低成本微纳加工难题的核心思路!
他急忙往下看去。
“设两束波长为λ的相干光,对称入射至光刻胶表面……”
“利用空间几何约束,干涉条纹周期d=λ/(2sinθ)……”
“亚波长分辨率验证……”
张默是越看越心惊,越看越精神。
这个学生的解法,虽然用的是高中物理的简谐波叠加公式,没有用到他们工程中那些复杂的傅里叶光学变换和矢量衍射理论。
但是!
逻辑上却挑不出一点毛病。
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